Sic rør

Semikorex SIC -rør er keramiske deler for halvlederovnsystemer.  De har unike egenskaper som inkluderer høy termisk overføring og høye temperatur og kjemisk motstand som kreves i halvledende applikasjoner der det er ekstrem høye temperatur og kjemiske miljøforhold som er forventet og hvor egenskapene er ønskelige - holdbarhet, energieffektivitet og unike stabile prosessforhold - som gjør det mulig å være økonomiske i den avanserte halvledningen som produserer produsert produsert produsert.

Semikorex SIC-rør bruker en finkorn med høy renhetSilisiumkarbidsom er produsert for å ha eksepsjonell mekanisk stabilitet med høy temperatur som et resultat av avanserte sintring og omkrystalliseringsmetoder og teknikker. Enablement av SIC med høy ytelse resulterer i eksepsjonell mekanisk styrke og oppbevaring av termisk stabilitet ved høye driftstemperaturer. SIC har eksepsjonell hardhet som demper slitasje, eller potensiell deformasjon.  I tillegg er attributter assosiert med SIC-egenskaper lavdrivende koeffektiv termisk ekspansjon gunstig fordi de begrenser termisk stress, da det vil være krav til å sykle dette materialet mellom ekstrem høy og lav driftsvarme. I alle disse hensynene har de et spesielt nytteverdi for ideelle applikasjoner i diffusjonsovner, oksidasjonsovner og LPCVD/PECVD -systemer for å opprettholde maksimalt stabile prosessforhold er til nytte for å eliminere, eller begrense feil som også er beregninger relatert til skive eller materiale med svært stabile, til og med prosessforhold.

En annen viktig nytte av SIC -rør er de høye termiske ledningsprofilene under spesifikke forhold og gjeldende ovndesign for å produsere høye frekvenser av ledende og avgjørende en jevn og jevn fordeling av temperaturen over hele prosessen.  Denne pålitelige oppførselen gjør at Wafers kan bli utsatt for semi-like temperaturfordeling i rimelige tidsintervaller og i tillegg for å begrense termiske gradienter for å dempe flatbunnede forvrengte og/eller definerte skiver mens de forbedrer mer jevn filmavsetningsforhold.

Kjemisk stabilitet og motstand er en annen viktig ytelsesfaktor.  I halvlederprosesser blir ovnrøret utsatt for påvirkning av sterkt reaktive gasser inkludert oksygen, hydrogen, ammoniakk og alle halogener, som kan nedbryte konvensjonelle materialer på en rask måte. Den tette og ikke-porøse mikrostrukturen, sammen med kjemisk inert natur av SIC, beskytter den mot oksidasjon og korrosjon mens den leverer operasjonell og mekanisk ytelse i det ekstreme prosessmiljøet.  Holdbarheten til SIC -ovner hjelper dem med å opprettholde integriteten til form og dimensjonal nøyaktighet over lengre perioder, noe som er viktig for prosesskontroll og stabilitet.

SIC -rør kan produseres i et bredt spekter av størrelser og veggtykkelser, geometrisk formet for å passe til ovndesign og prosessbehov.  Eksakte presisjonsbearbeidingsegenskaper opprettholdes også under utforming og produksjon av SIC -rør, slik at operasjonelle toleranser kan være stramme, med glatte indre overflater og utmerket konsentrisitet for å opprettholde en balanse av laminær gasstrøm og ensartede termiske profiler. Overflatepolering og belegg kan leveres som behandlingsalternativer som vil forbedre ytelsen ved å redusere partikkelgenerering og forbedre korrosjonsresistens.

SIC -rør har klare drifts- og kostnadsfordeler sammenlignet med alternative materialer som kvarts eller aluminiumoksydrør.  De opprinnelige kostnadene for SIC -komponenter kan være litt høyere, men produktets levetid, reduksjon i brudd og lavere vedlikeholdskrav resulterer i totale eierkostnader som er lavere kostnader enn alternative materialer og rør.

For å konkludere, semikorexSicRør er det beste alternativet for applikasjoner for halvlederovn, ettersom de gir den beste termiske ytelsen, mekanisk styrke, kjemisk motstand og pålitelighet for krevende produksjonsmiljøer. Dette materialet forbedrer prosessstabiliteten og hjelper til med kostnadsbesparelser og effektivitet i veien (dvs. lavere energiforbruk). SIC -rør er et grunnleggende materiale for moderne halvlederproduksjon.