Sic robothender

Semicorex SiC robothender er de siste i sluttvirkninger designet for robotikk-overføringsapplikasjoner innen halvlederproduksjon. Laget med høye ytelsesmaterialer, konstruerte vi disse robothendene med keramikk av silisiumkarbid (SIC) for å gi maksimal termisk tabulering, kjemisk stabilitet og mekanisk styrke for et stadig mer hardt miljø med fabrikasjon eller håndtering av skive.

Sentralt i våre SIC -robothender er vår egenutviklede avanserteSilisiumkarbidKjent for sin høye hardhet (MOHS 9), høy termisk ledningsevne og korrosjonsmotstand. I motsetning til tradisjonelle materialer som aluminium eller rustfritt stål, er SIC kompatibel med det tøffe prosesseringsmiljøet til halvlederrenserom, inkludert behandlede høye temperaturer og reaktive gasser. Vi tilbyr langvarig holdbarhet og minimerer forurensning, i samsvar med den strenge renheten som kreves for wafer-produksjon.

Halvlederutstyr med SIC -robothender bruker undertrykkssug for å oppnå skiven, dvs. halvlederskiven adsorberes på kvarts eller keramiske finger ved bruk av sugekoppprinsippet etterfulgt av transport ved bruk av en mekanisk handlingsarm som strekker seg, roterende og løftende bevegelser.

"Høy hastighet" og "renslighet" er kjerneegenskapene til halvlederhåndteringsutstyr. For å oppfylle disse egenskapene har utstyret ekstremt strenge krav til ytelsen til komponentene som brukes. Siden de fleste prosesser utføres i et vakuum, høy temperatur og etsende gassmiljø, må håndteringsarmen som brukes i utstyret ha utmerkede fysiske egenskaper, for eksempel: høy mekanisk styrke, korrosjonsmotstand, høy temperaturmotstand, slitasje, høy hardhet, isolasjon, etc. og avanserte keramiske materialer bare oppfyller disse forholdene.

Silisiumkarbid keramikkHa de fysiske egenskapene til tett tekstur, høy hardhet, høy slitestyrke, samt god varmebestandighet, utmerket mekanisk styrke, god isolasjon i miljø med høyt temperatur, god korrosjonsmotstand og andre fysiske egenskaper. Det er et utmerket materiale for å lage halvlederutstyr for håndtering av armer.

A erkjenner at robotplattformer varierer på tvers av fabs og verktøyprodusenter, og våre SIC -robothender er tilgjengelige i en rekke standardiserte størrelser og kan tilpasses for unike verktøykonfigurasjoner. Monteringsgrensesnitt, fingergeometrier og støttefunksjoner kan skreddersys for å dekke spesifikt utstyr og prosessbehov. Enten du overfører skiver innenfor klyngeverktøy, vakuumkamre eller Foup -systemer, integreres robotene våre sømløst med ledende robotmerker.

Hver SIC -robothånd gjennomgår streng rengjørings-, inspeksjons- og emballasjeprosedyrer for å sikre overholdelse av standarder i klasse 1. Den ikke-porøse, antistatiske overflaten av SIC reduserer partikkeladhesjon, mens den robuste strukturen motstår mikrofrakturer som kan føre til partikkelgenerering over tid. Dette gjør dem ideelle for front-end wafer-prosesser der selv den minste forurensning kan føre til enhetssvikt.

Fra epitaxy og ionimplantasjon til PVD, CVD og CMP, er SIC -robothender klarert i hvert trinn i halvlederenhet fabrikasjon. Deres overlegne motstand mot termisk sjokk og plasmamiljøer gjør dem uunnværlige i avanserte logikk- og kraft halvlederlinjer, spesielt der SIC wafer -underlag brukes.