SiC Wafer Båt

Semicorex tilbyr waferbåter, pidestaller og tilpassede waferbærere for både vertikale/søyle og horisontale konfigurasjoner. Vi har vært produsent og leverandør av silisiumkarbidbeleggfilm i mange år. Vår SiC Wafer Boat har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vi introduserer vår høykvalitets SiC Wafer Boat, designet for å gi en pålitelig løsning for waferbehandling i ulike bransjer. Disse keramiske sokkelene er produsert ved hjelp av keramikk med høy renhet, som gir utmerket motstand mot termisk sjokk, slitasje og kjemisk korrosjon, noe som gjør dem ideelle for tøffe miljøer for waferbehandling.
Våre SiC Wafer-båter er også svært tilpassbare, og vi kan samarbeide med deg for å lage tilpassede pidestaller for å møte dine unike spesifikasjoner. Vi er stolte av vår evne til å levere pålitelige produkter av høy kvalitet som oppfyller kravene til våre kunder. Våre keramiske wafer-båter er laget for å vare og tilby lang levetid, noe som sikrer at du får mest mulig ut av investeringen din.
Bestill nå og opplev fordelene med vår høykvalitets SiC Wafer Boat i dine waferbehandlingsoperasjoner.

Parametre for SiC Wafer Boat

Tekniske egenskaper
Indeks	Enhet	Verdi
Materialnavn		Reaksjonssintret silisiumkarbid	Trykkløs sintret silisiumkarbid	Omkrystallisert silisiumkarbid
Komposisjon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøyestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Komprimerende styrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Koeffisient for termisk ekspansjon	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Spesifikk varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maks temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Funksjoner av SiC Wafer Boat

- CVD silisiumkarbidbelegg for å forbedre levetiden.
- Termisk isolasjon laget av høyytelses renset stivt karbon.
- Har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.
- Høyrent keramikk og SiC-belegg for pinhole-motstand og lengre levetid