SiC Wafer-båter

Semicorex SiC Wafer Boat, laget av silisiumkarbid (SiC) keramikk, leder an når det gjelder å møte kravene til halvlederindustrien ved å levere uovertruffen ytelse i høytemperaturmiljøer. Ettersom halvlederindustrien nådeløst flytter grensene for mikrofabrikasjon, blir etterspørselen etter spenstige og robuste materialer overordnet.

SiC Wafer Boat spiller en avgjørende rolle i å holde og støtte flere wafere under termiske prosesser som diffusjon, oksidasjon og kjemisk dampavsetning (CVD). Disse prosessene innebærer å utsette skivene for ekstremt høye temperaturer, ofte over 1000°C, i en kontrollert atmosfære. Ensartetheten og konsistensen til disse termiske behandlingene er avgjørende for å sikre kvaliteten og ytelsen til halvlederenhetene som produseres. SiC Wafer Boats evne til å motstå så høye temperaturer uten deformasjon eller nedbrytning sikrer at wafere blir jevnt behandlet, noe som fører til overlegen enhetsutbytte og ytelse.

Den eksepsjonelle termiske ledningsevnen til SiC waferbåtene garanterer jevn varmefordeling over alle wafere, og minimerer risikoen for temperaturgradienter som kan føre til defekter i halvlederenhetene. Videre resulterer SiCs lave termiske ekspansjonskoeffisient (CTE) i minimal termisk ekspansjon og sammentrekning under oppvarmings- og avkjølingssykluser. Denne stabiliteten er avgjørende for å forhindre mekanisk stress og potensiell skade på skivene, spesielt med krympende enhetsgeometrier.

Under termiske prosesser blir wafere utsatt for ulike reaktive gasser som kan samhandle med materialene i SiC wafer-båten. SiCs utmerkede kjemiske motstand sikrer at den ikke reagerer med disse gassene, forhindrer forurensning og sikrer renheten til skivene. Dette er spesielt viktig ved produksjon av avanserte halvlederenheter, der selv spor av forurensning kan føre til defekter og redusere enhetens pålitelighet.