Silisiumkarbidbåter

Semikorex silisiumkarbidbåter viser eksepsjonell termisk stabilitet, slik at de tåler de ekstreme temperaturene som kreves for oksidasjons- og diffusjonsprosesser. Deres utmerkede termiske sjokkmotstand minimerer risikoen for sprekker eller deformasjon, noe som sikrer langvarig driftsperiode. SIC-sammensetningen med høy tetthet gir overlegen mekanisk styrke, og opprettholder strukturell integritet selv under kontinuerlig termisk sykling. Denne eksepsjonelle motstanden mot mekanisk stress reduserer sannsynligheten for forurensning og brudd på skiven, og bidrar til høyere prosessutbytte. Videre har SIC -båter enestående kjemisk motstand, og forblir inert til aggressive prosessgasser som brukes i oksidasjon og diffusjonstrinn. Denne egenskapen forhindrer uønskede reaksjoner som kan kompromittere wafer renhet og produksjonseffektivitet.

Silisiumkarbidbåter brukes først og fremst i oksidasjon og diffusjonsovner, hvor presis kontroll over skiveeksponering for høye temperaturer og reaktive gasser er essensielt. De støtter skiver under termisk oksidasjon for å dyrke silisiumdioksidlag av høy kvalitet og lette ensartet doping gjennom kontrollert eksponering for dopingsmiddelgasser. I tillegg gir de en stabil plattform for annealing og andre behandlinger med høy temperatur som krever langvarig varmeeksponering.

Sammenlignet med tradisjonelle kvarts- og grafittbåter, tilbyr silisiumkarbidbåter uovertruffen holdbarhet, lang levetid og ytelse. Deres evne til å motstå tøffe termiske og kjemiske miljøer mens de minimerer forurensning gjør dem til det foretrukne valget for høye presisjons halvlederproduksjon. Med fokus på kvalitet og innovasjon, leverer våre silisiumkarbidbåter overlegen ytelse, og sikrer høye utbytter og effektiv wafer -prosessering for halvlederprodusenter over hele verden. Enten for avanserte nodeteknologier eller legacy halvlederproduksjon, gir disse båtene en pålitelig løsning for å oppfylle strenge bransjekrav.

(1) Bære og beskyttelse: Silisiumkarbidbåtene har halvledermaterialer som skiver gjennom dens indre parentes eller spor, og bruker den høye temperaturen og korrosjonsmotstanden til silisiumkarbidmaterialer for å beskytte skiverne mot det ytre miljøet.

(2) Reniform oppvarming: Silisiumkarbidbåten gjør at skivene inni kan varmes opp jevnt under varmebehandlingsprosessen. Dette hjelper til med å sikre at temperaturen og reaksjonshastigheten til hver del av skiven forblir konsistent under varmebehandlingsprosessen, og dermed forbedrer utbyttet og kvaliteten på skiven.

Det er for øyeblikket tre hovedtyper avSilisiumkarbid keramikkMaterialer: Reaksjonsintring, trykkløs sintring og omkrystallisering av sintring. I de fleste anvendelser er reaksjonsintrert silisiumkarbid et mer passende og kostnadseffektivt produkt. Omkrystalliserte SIC-båter Sinters og behandle flere enhetsdeler først, bruk deretter SI-pasta til å kombinere delene i en båt ved høy temperatur, og til slutt bruke CVD-SIC-belegg (ca. 100um). Siden omkrystallisering er porøs, hvis det ikke er noe SIC -belegg, vil det også introdusere partikaler i halvlederprosessen. Denne typen omkrystallisert SIC-båt med CVD-SIC-belegg har den lengste produksjonsprosessen og er veldig dyr. Sammenlignet med SIC-belagte grafittbåter, har CVD-SIC-belagte rekrystalliserte SIC-båter ikke noe CTE-misforholdsproblem.