Perfekt for neste generasjons litografi og wafer-håndteringsapplikasjoner, Semicorex ultra-ren silisiumkarbidbøssing sikrer minimal forurensning og gir eksepsjonelt lang levetid. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Semicorex ultra-flat silisiumkarbidbøssing er sintret silisiumkarbid av høy renhet som har høy varme- og korrosjonsbestandighet, og stor stabilitet i ekstreme miljøer inkludert høy temperatur og korrosiv arbeidssituasjon.
Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektiv silisiumkarbidbøssing, vi prioriterer kundetilfredshet og gir kostnadseffektive løsninger. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner, levere produkter av høy kvalitet og eksepsjonell kundeservice.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår silisiumkarbidbøssing.
Parametre for silisiumkarbidbøssing
Tekniske egenskaper |
||||
Indeks |
Enhet |
Verdi |
||
Materialnavn |
Reaksjonssintret silisiumkarbid |
Trykkløs sintret silisiumkarbid |
Omkrystallisert silisiumkarbid |
|
Komposisjon |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Bulkdensitet |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Bøyestyrke |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C) |
Komprimerende styrke |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Hardhet |
Knapp |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Termisk ledningsevne |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koeffisient for termisk ekspansjon |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Spesifikk varme |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maks temperatur i luft |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastisk modul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Forskjellen mellom SSiC og RBSiC:
1. Sintringsprosessen er annerledes. RBSiC skal infiltrere fritt Si inn i silisiumkarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturlig krymping ved 2100 grader.
2. SSiC har jevnere overflate, høyere tetthet og høyere styrke, for noen tetninger med strengere overflatekrav vil SSiC være bedre.
3. Ulik brukt tid under forskjellig PH og temperatur, SSiC er lengre enn RBSiC
Funksjoner av silisiumkarbidbøssing
SiC-belagt grafitt med høy renhet
Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet
Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate
Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring
Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.
Tilgjengelige former for silisiumkarbidkeramikk:
● Keramisk stang / keramisk pinne / keramisk stempel
● Keramisk rør / keramisk bøssing / keramisk hylse
● Keramisk ring / keramisk skive / keramisk avstandsstykke
● Keramisk plate
● Keramisk plate / keramisk blokk
● Keramisk ball
● Keramisk stempel
● Keramisk munnstykke
● Keramisk smeltedigel
● Andre tilpassede keramiske deler