Utkragende padler av silisiumkarbid

Semicorexsilisiumkarbid utkragende skovler brukes vanligvis med horisontale waferbåter i høytemperaturbehandlingsovnene. De kan sikre presis, jevn overføring av waferbåter inn og ut av ovnsrør, og gir en sterk støtte for stabiliteten og utbyttet av halvlederproduksjon. Spesielt designet for høytemperatur wafer-behandling, Semicorex silisiumkarbid fribærende padler fungerer jevnt ved rundt 1250 °C under en tøff arbeidsatmosfære bestående av oksygen (reaksjonsgass), nitrogen (beskyttende gass) og en liten mengde hydrogenklorid.

Materialvalg av høy standard

Premium-produkter er avhengige av fine råvarer. Semicorex tar i bruk høyrent silisiumkarbidråmateriale for å sikre at våre utkragende silisiumkarbidpadler har toppkvalitet i hele bransjen. Basene deres er laget av høykvalitets reaksjonsbundet silisiumkarbid med urenheter kontrollert under 100 ppm, og overflatene er dekket med et CVD SiC-belegg der urenheter holdes under 1 ppm. Disse høystandard-materiale som produserer Semicorex silisiumkarbid utkragende padler gir utmerkede egenskaper som er oppført som nedenfor.

1. Ultrahøy renslighet:Semicorexsilisiumkarbidcantilever-padler har høy renhet og frigjør ikke uønskede urenheter under drift, og eliminerer fundamentalt forurensning til wafere og prosessovner.

2. Stabil termisk stabilitet:Semicorexsilisiumkarbid utkragende skovler fungerer pålitelig ved 1250°C og tåler skarpe temperaturendringer når de går inn og ut av ovnen, fri for deformasjoner eller sprekker.

3. Overlegen mekanisk styrke:Semicorexsilisiumkarbid utkragende padler har høy hardhet og styrke og tåler slitasje og riper under hyppige skyve- og trekkoperasjoner.

4. Pålitelig korrosjonsbestandighet:Semicorexutkragende skovler av silisiumkarbidtåler sterk korrosjon av sterke alkalier og syrer takket være deres bemerkelsesverdige kjemiske stabilitet.

Omtenksom design og presisjonsbearbeiding

Semicorexbruker den integrerte 3D-utskriftsteknologien for å danne utkragende skovler av silisiumkarbid, som gjør dem fri fra svake belastningspunkter ved leddene, og gir pålitelig belastningskapasitet under drift. Den støtter også fulldimensjonal tilpasning av utkragende padler av silisiumkarbid. Cantilever-årer kan skreddersys nøyaktig i lengde, struktur og grensesnittspesifikasjoner og er tilgjengelige for perfekt å matche ovnsrørdiametre, waferbåtdimensjoner, automatiserte lastesystemer og spesifikke prosesskrav.