Silisiumkarbid keramiske fribærende padler

Semicorexsilisiumkarbid keramiske cantilever padlerproduseres ved høytemperatursintring av den ett-trinns 3D-printede grønne kroppen, etterfulgt av beleggbehandlingen via kjemisk dampavsetning. Under faktisk drift aktiveres keramiske utkragerpadler av silisiumkarbid av de mekaniske automatiseringssystemene for jevnt og jevnt å overføre waferbærende komponenter inn og ut av høytemperaturbehandlingsutstyr (som oksidasjonsovner, diffusjonsovner, CVD-ovner, etc.). Disse silisiumkarbidkomponentene kan effektivt sikre konsentrisitetsnøyaktigheten mellom skivene og ovnsrørene, og dermed garantere prosessuniformitet og stabilitet under kritiske prosesser som diffusjon, oksidasjon og kjemisk dampavsetning.

Ytelsen til Semicorex silisiumkarbid keramiske utkragingspadler

1. Lav forurensningsytelse:

Semicorexsilisiumkarbidkeramiske cantilever-padler, behandlet med høypresisjonsbehandling, når støvfrie og partikkelfrie standarder. Matrisene deres har et urenhetsinnhold strengt kontrollert under 300PPM, og urenhetsinnholdet i CVD silisiumkarbidbelegg er enda lavere enn 5PPM.

2. Høy temperatur stabilitet:

På grunn av den utmerkede motstanden mot høye temperaturer og termisk støtmotstand til silisiumkarbid, kan Semicorex silisiumkarbid keramiske fribærende skovler forlenget opprettholde sin strukturelle stabilitet ved høye temperaturer opp til 1250 °C, uten å deformeres, mykne eller bli skadet forårsaket av høy temperatur.

3. Eksepsjonell lastekapasitet:

Semicorex silisiumkarbid keramiske fribærende padler leverer eksepsjonell lastekapasitet som drar nytte av deres unike strukturelle design og deres overlegne materialegenskaper (høy mekanisk styrke og hardhet). Denne eksepsjonelle lastekapasiteten gjør dem i stand til å tåle vekten av store partier av wafere for å møte behovene til masseproduksjon, noe som effektivt forbedrer effektiviteten til wafer batch-behandling.

4. Bemerkelsesverdig korrosjonsbestandighet:

Semicorex silisiumkarbid keramiske cantilever-padler viser utmerket korrosjonsmotstand mot oksygen, klor og andre etsende stoffer som er tilstede ved høye temperaturer i halvleder- og fotovoltaiske produksjonsprosesser. Denne overlegne ytelsen er avgjørende for å sikre jevn drift av produksjonsprosesser ved å unngå tap og tid forårsaket av skade på silisiumkarbid keramiske utkrager.

Pakkemetoden til Semicorex silisiumkarbid keramiske utkragingspadler