Silisiumkarbidkeramikkårer er typisk installert nær ovnsåpningen eller prosesskammeret, med den ene enden festet og den andre enden som strekker seg inn i ovnen eller prosesskammeret. Under operasjonsprosessen plasserer silisiumkarbidkeramiske skovler nøyaktig waferbæreren som bærer wafere på det angitte stedet inne i ovnen eller prosesskammeret. Etter prosessering henter de utkragede padlene bæreren og flytter den ut av ovnen eller kammeret og overleverer den til robotarmen for neste trinn i håndteringen.

Fordelene med Semicorex keramiske skovler av silisiumkarbid

1. Overlegne egenskaper og pålitelig kvalitet

Semicorex keramiske skovler av silisiumkarbid gir utmerket høytemperaturstabilitet, høy styrke, høy hardhet, kjemisk stabilitet og lav termisk ekspansjonskoeffisient. Med disse overlegne egenskapene kan Semicorex keramiske skovler av silisiumkarbid i lang tid tåle de utfordrende driftsforholdene, som høye temperaturer, alvorlig korrosjon, tung belastning og hyppig mekanisk drift.

2. Nøyaktig støtte og transport

Stoler på den utmerkede støtte- og transportytelsen, Semicorexkeramiske skovler av silisiumkarbidkan nøyaktig fikse wafer-bærere på plass for å sikre konsentrisiteten til wafere i forhold til ovnsrør, noe som betydelig reduserer prosessinkonsekvensen forårsaket av wafer-risting og feiljustering under prosessen.

3. Svært effektiv automatisert drift

Semicorex keramiske skovler av silisiumkarbid fungerer vanligvis sammen med robotiserte automatiserte lasting og håndteringssystemer for å oppnå rask lasting og lossing av wafer. Dette forkorter prosesssyklusene i halvleder- og fotovoltaisk produksjon betydelig, forbedrer produksjonseffektiviteten og reduserer manuelle driftskostnader og feilrisiko.

Bruksområdene til Semicorex keramiske skovler av silisiumkarbid

1. Produksjon av solcelleceller

Semicorex keramiske skovler av silisiumkarbid er godt egnet for de termiske prosessene til fotovoltaiske celler, slik som diffusjon, LPCVD og PECVD av TOPCon- og PERC-celler. Ved å oppnå ensartethet og stabilitet i prosessen, bidrar disse padlene til forbedring av fotovoltaisk cellekonverteringseffektivitet.

2. Fremstilling av halvlederbrikker

Som de essensielle støtte- og transportkomponentene, er Semicorex keramiske skovler av silisiumkarbid mer utbredt i prosesser som litografi, etsing og avsetning under produksjon av halvlederbrikker, noe som muliggjør konstant stabil overføring og presis posisjonering av wafere.