Silisiumkarbid keramisk waferbåt

Semicorex tilbyr waferbåter, pidestaller og tilpassede waferbærere for både vertikale/søyle og horisontale konfigurasjoner. Vi har vært produsent og leverandør av silisiumkarbidbeleggfilm i mange år. Vår silisiumkarbid keramiske waferbåt har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex silisiumkarbid keramisk waferbåt, den ultimate løsningen for waferhåndtering og beskyttelse i halvlederproduksjon.
Vår silisiumkarbid keramiske wafer båt er laget av høykvalitets materiale belagt med et lag av silisiumkarbid (SiC) brukt CVD metode, som har god motstand mot korrosjon og utmerket motstand mot høye temperaturer og termisk sjokk. Avansert keramikk gir utmerket termisk motstand og plasmaholdbarhet samtidig som de reduserer partikler og forurensninger for høykapasitets waferbærere.

Parametre av silisiumkarbid keramisk wafer båt

Tekniske egenskaper
Indeks	Enhet	Verdi
Materialnavn		Reaksjonssintret silisiumkarbid	Trykkløs sintret silisiumkarbid	Omkrystallisert silisiumkarbid
Komposisjon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøyestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Komprimerende styrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Koeffisient for termisk ekspansjon	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Spesifikk varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maks temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Forskjellen mellom SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprosessen er annerledes. RBSiC skal infiltrere fritt Si inn i silisiumkarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturlig krymping ved 2100 grader.

2. SSiC har jevnere overflate, høyere tetthet og høyere styrke, for noen tetninger med strengere overflatekrav vil SSiC være bedre.

3. Ulik brukt tid under forskjellig PH og temperatur, SSiC er lengre enn RBSiC

Funksjoner av silisiumkarbid keramisk wafer-båt

Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet
Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate
Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring
Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.