Semicorex er din partner for forbedring av halvlederbehandling. Våre silisiumkarbidbelegg er tette, høytemperatur- og kjemikaliebestandige, som ofte brukes i hele syklusen av halvlederproduksjon, inkludert halvlederwafer og wafer-behandling og halvlederfabrikasjon.
Høyrente SiC-keramiske komponenter er avgjørende for prosesser i halvlederen. Vårt tilbud spenner fra forbruksdeler til utstyr for prosessering av wafer, slik som silisiumkarbid-waferbåt, cantilever-årer, rør osv. for Epitaxy eller MOCVD.
Fordeler for halvlederprosesser
Tynnfilmavsetningsfasene som epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprosesser som etsing eller ioneimplantat må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring. Semicorex leverer høyrent silisiumkarbid (SiC) konstruksjon gir overlegen varmebestandighet og holdbar kjemisk motstand, jevn termisk ensartethet for konsistent epi-lagtykkelse og motstand.
Kammerlokk →
Kammerlokk som brukes i krystallvekst og prosessering av waferhåndtering må tåle høye temperaturer og hard kjemisk rengjøring.
Cantilever Paddle →
Cantilever Paddle er en avgjørende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner under prosesser som diffusjon og RTP.
Prosessrør →
Process Tube er en avgjørende komponent, spesielt designet i ulike halvlederbehandlingsapplikasjoner som RTP, diffusjon.
Wafer-båter →
Wafer Boat brukes i halvlederbehandling, den har blitt omhyggelig designet for å sikre at de delikate wafere holdes trygge under de kritiske stadiene av produksjonen.
Innløpsringer →
SiC-belagt gassinntaksring av MOCVD-utstyr Sammensatt vekst har høy varme- og korrosjonsbestandighet, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer silisiumkarbidbelagt fokusring er virkelig stabil for RTA, RTP eller hard kjemisk rengjøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flate keramiske vakuumwafer-chucker er høyrent SiC-belagt ved bruk i waferhåndteringsprosessen.
Semicorex har også keramiske produkter i Alumina (Al2O3), Silisium Nitride (Si3N4), Aluminium Nitride (AIN), Zirconia (ZrO2), Composite Ceramic, etc.
Semicorex leverer keramikk av halvlederkvalitet for OEM-halvfabrikasjonsverktøyene og waferhåndteringskomponentene dine. Vi har vært produsent og leverandør av silisiumkarbidbeleggfilm i mange år. Vår SiC Axle Sleeve har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex avanserte silisiumkarbidbelagte komponenter med høy renhet er bygget for å tåle ekstreme miljøer i prosess for håndtering av wafer. Vår Semiconductor Wafer Chuck har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex ultrarene keramiske komponenter, perfekt for neste generasjons litografi og wafer-håndteringsapplikasjoner, sikrer minimal forurensning og gir eksepsjonelt lang levetid. Vår Wafer Vacuum Chuck har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex holdbare fokusringer for halvlederbehandling er designet for å tåle de ekstreme miljøene i plasmaetsingskamre som brukes i halvlederbehandling. Fokusringene våre er laget av grafitt med høy renhet belagt med et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg (SiC). SiC-belegget har høye korrosjons- og varmebestandige egenskaper, samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD) for å forbedre levetiden til fokusringene våre.
Les merSend forespørselSemicorex Plasma-behandlingsfokusring er spesialdesignet for å møte de høye kravene til plasmaetsingsbehandling i halvlederindustrien. Våre avanserte silisiumkarbidbelagte komponenter med høy renhet er bygget for å tåle ekstreme miljøer og er egnet for bruk i ulike applikasjoner, inkludert silisiumkarbidlag og epitaksiske halvledere.
Les merSend forespørselSemicorex avanserte SiC-fokusringer med høy renhet er bygget for å tåle de ekstreme miljøene i plasma-etsing- (eller tørretsnings-) kamre. Vi fokuserer på halvlederindustrier som silisiumkarbidlag og epitaksihalvleder. Våre produkter har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel