Silisiumkarbidskanningsspeil

Semicorex silisiumkarbidskanningsspeil er neste generasjon av optiske enheter med høy ytelse.  Speilene er utviklet for den akselererte skanningsverdenen, og gir den siste generasjonen av bjelkestyring og skannefunksjoner for applikasjoner som krever veldig høy hastighet, høy grad av stabilitet og presisjon. SilisiumkarbidSkanningsspeil har unike attributter på grunn av deres avanserte keramiske produksjon - speilene er veldig lette, men har gode mekaniske og termiske egenskaper. Som sådan anses de som ideelle for optiske systemer med høy nøyaktighet i bransjer som avansert litografi, rombasert observasjon, laserskanning eller høyhastighets/sanntidsavbildning.

Et sentralt aspekt ved funksjonaliteten til skanningsspeil for silisiumkarbid er å utvikle en optimal spesifikk stivhet som oppfyller kravene til skanning med høy ytelse.  Den lave tettheten og den høye elastiske modulen gir et høyt stivhetsnivå, og opprettholder derfor de strukturelle egenskapene mens du beveger seg gjennom veldig høye akselerasjoner og dynamisk bevegelse.  Jo større stivhet, jo lavere deformasjon når den er utsatt for veldig høye belastninger, noe som sikrer mindre optisk forvrengning når avbildning krever presis posisjonering i høye hastigheter. I høyfrekvente skannere vil speilets stivhet forbedre oppløsningen og avgjøre tid direkte.

En annen spesifikk egenskap er SiCs hardhet.  Hardhet er definert som et materiales evne til å motstå overflateskader, riper eller slitasje.  Økt hardhet betyr et langt driftsliv - selv under tøffe forhold med slipende partikler og gjentatt rengjøring. Den høye hardheten gjør det også mulig for speilene å opprettholde overflatens nøyaktighet over utvidede brukssykluser, bevare optisk ytelse og redusere vedlikeholdskrav.

Termisk styring er et annet kjennetegn der silisiumkarbid skinner. På grunn av høy termisk ledningsevne, kan SIC forsvinne varmeoppbygging fra laserstråler med høy effekt eller fra termiske miljøendringer. Dette vil bidra til å minimere termiske gradienter som kan skape speildeformasjon eller feiljustering, noe som gir konsekvent ytelse under lang driftsbruk. Vertexs høye termiske stabilitet SIC minimerer ekspansjon/sammentrekning med temperaturendringer, og dermed opprettholder optisk innretting når dimensjonell stabilitet i alle miljøforhold er essensielt, som ofte inkluderer arbeid som trengs for romteleskoper eller halvlederlitografisystemer.

For å lette ytelse og muligheter rundt bruken, er det mange overflatealternativer tilgjengelig. For eksempel kan bruk av et CVD SIC -belegg forbedre overflateenhet, hardhet og værbarhet. Mens silisiumbelegg tillater et bedre reflekterende grensesnitt for at ytterligere optiske belegg kan avsettes, for eksempel speiloverflaten i seg selv, og gir muligheter for optimalisering avhengig av spesifikke bølgelengdeserier, laserkraftnivåer og atmosfæriske forhold. Du kan sikre at speilet (for eksempel) oppnår det spesifikke optiske og holdbarhetskravet til den tiltenkte anvendelsen med disse ekstra overflatebeleggene.

En annen betydelig fordel med silisiumkarbidskanningsspeil er tilpasning, inkludert form og geometri. Speil kan tilpasses for å være flate, sfæriske og asfæriske overflater, og det forventes generelt høy nøyaktighet i form, avhengig av den optiske utformingen. Ved å inkorporere lette ryggstrukturer, kan speilmassen reduseres ytterligere uten tap av stivhet, noe som gir raskere skanning og raskere systemreaksjonstid. Alle disse funksjonene gir muligheter for individualisert forming, etterbehandling og belegg for hvert speil avhengig av de optiske og mekaniske behovene til applikasjonen.

Silisiumkarbidskanningsspeil er spesielt fordelaktig i rombaserte optiske systemer, der massesparing, stivhet og termisk stabilitet er med på å sikre overlevelse så vel som ytelse i bane. I litografi gir den dimensjonale stabiliteten og høye stivhetsegenskapene til SIC-skanningsspeil nanometernivåposisjoner som er kritiske for halvlederproduksjon. I høydrevne laserskanningssystemer gir SICs varmedespredende egenskaper og holdbarhet på en overflate langsiktig stabilitet over tid og minimal forvrengning.

Semikorex silisiumkarbidskanningsspeil gir en uslåelig kombinasjon av lett konstruksjon, høy stivhet, høy hardhet, høy termisk ledningsevne og termisk stabilitet. De unike alternativene for tilpassbare former, presisjonsoverflatefinish og innovative belegg inkludert CVD SIC og silisium åpne dører og tilfører ytelsesegenskaper og pålitelighet for dagens mest krevende optiske skanningsapplikasjoner.