Silisiumkarbidbelagt grafittfat

Semicorex silisiumkarbidbelagt grafittfat er det perfekte valget for halvlederproduksjonsapplikasjoner som krever høy varme- og korrosjonsbestandighet. Dens eksepsjonelle varmeledningsevne og varmefordelingsegenskaper gjør den ideell for bruk i LPE-prosesser og andre høytemperaturmiljøer.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Når det gjelder produksjon av halvledere, er Semicorex Silicon Carbide-Coated Graphite Barrel det beste valget for eksepsjonell ytelse og pålitelighet. Dens høykvalitets SiC-belegg og overlegen tetthet og termisk ledningsevne gir overlegen varmefordeling og beskyttelse i selv de mest utfordrende høytemperatur- og korrosive miljøer.

Vår silisiumkarbidbelagte grafittfat sikrer en jevn termisk profil, og garanterer det beste laminære gassstrømningsmønsteret. Den forhindrer forurensning eller urenheter i å diffundere inn i skiven, noe som gjør den ideell for bruk i renromsmiljøer. Semicorex er en storskala produsent og leverandør av SiC Coated Graphite Susceptor i Kina, og våre produkter har en god prisfordel. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i halvlederindustrien.

Parametre for silisiumkarbidbelagt grafittfat

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC β-fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J kg-1 K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøy, 1300 ℃)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funksjoner av silisiumkarbidbelagt grafittfat

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har god tetthet og kan spille en god beskyttende rolle i høytemperatur og korrosive arbeidsmiljøer.

- Silisiumkarbidbelagt susceptor som brukes til enkeltkrystallvekst har en meget høy overflateplanhet.

- Reduser forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget, forbedrer effektivt bindestyrken for å forhindre sprekkdannelse og delaminering.

- Både grafittsubstratet og silisiumkarbidlaget har høy varmeledningsevne, og utmerkede varmefordelingsegenskaper.

- Høyt smeltepunkt, høy temperatur oksidasjonsmotstand, korrosjonsbestandighet.