Silisiumkarbidkeramikk (SiC) er et avansert keramisk materiale som inneholder silisium og karbon. Korn av silisiumkarbid kan bindes sammen ved sintring for å danne svært hard keramikk. Semicorex leverer tilpasset silisiumkarbidkeramikk etter behov.
Søknader
Med silisiumkarbidkeramikk forblir materialegenskapene konstante opp til temperaturer over 1400°C. Den høye Youngs modul > 400 GPa sikrer utmerket dimensjonsstabilitet.
En typisk anvendelse for silisiumkarbidkomponenter er dynamisk tetningsteknologi ved bruk av friksjonslagre og mekaniske tetninger, for eksempel i pumper og drivsystemer.
Med de avanserte egenskapene er silisiumkarbidkeramikk også ideell for bruk i halvlederindustrien.
Wafer-båter →
Semicorex Wafer Boat er laget av sintret silisiumkarbidkeramikk, som har god motstand mot korrosjon og utmerket motstand mot høye temperaturer og termisk sjokk. Avansert keramikk gir utmerket termisk motstand og plasmaholdbarhet, samtidig som de reduserer partikler og forurensninger for høykapasitets waferbærere.
Reaksjonssintret silisiumkarbid
Sammenlignet med andre sintringsprosesser er størrelsesendringen av reaksjonssintring under fortettingsprosessen liten, og produkter med nøyaktige dimensjoner kan produseres. Tilstedeværelsen av en stor mengde SiC i det sintrede legemet gjør imidlertid høytemperaturytelsen til reaksjonssintret SiC-keramikk dårligere.
Trykkløs sintret silisiumkarbid
Trykkløs sintret silisiumkarbid (SSiC) er en spesielt lett og samtidig hard høyytelses keramikk. SSiC er preget av høy styrke, som forblir nesten konstant selv ved ekstreme temperaturer.
Rekrystall silisiumkarbid
Rekrystallisert silisiumkarbid (RSiC) er neste generasjons materialer dannet ved å blande grovt silisiumkarbidpulver med høy renhet og fint silisiumkarbidpulver med høy aktivitet, og etter fuging, vakuumsintring ved 2450 ° C for å omkrystallisere.
Semicorex leverer keramikk av halvlederkvalitet for OEM-halvfabrikasjonsverktøyene og waferhåndteringskomponentene dine. Vi har vært produsent og leverandør av silisiumkarbidbeleggfilm i mange år. Vår keramiske akselhylse har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex leverer keramikk av halvlederkvalitet for OEM-halvfabrikasjonsverktøyene og waferhåndteringskomponentene dine. Vi har vært produsent og leverandør av silisiumkarbidbeleggfilm i mange år. Vår SiC Axle Sleeve har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex avanserte silisiumkarbidbelagte komponenter med høy renhet er bygget for å tåle ekstreme miljøer i prosess for håndtering av wafer. Vår Semiconductor Wafer Chuck har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex ultrarene keramiske komponenter, perfekt for neste generasjons litografi og wafer-håndteringsapplikasjoner, sikrer minimal forurensning og gir eksepsjonelt lang levetid. Vår Wafer Vacuum Chuck har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSemicorex holdbare fokusringer for halvlederbehandling er designet for å tåle de ekstreme miljøene i plasmaetsingskamre som brukes i halvlederbehandling. Fokusringene våre er laget av grafitt med høy renhet belagt med et tett, slitesterkt silisiumkarbidbelegg (SiC). SiC-belegget har høye korrosjons- og varmebestandige egenskaper, samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD) for å forbedre levetiden til fokusringene våre.
Les merSend forespørselSemicorex Plasma-behandlingsfokusring er spesialdesignet for å møte de høye kravene til plasmaetsingsbehandling i halvlederindustrien. Våre avanserte silisiumkarbidbelagte komponenter med høy renhet er bygget for å tåle ekstreme miljøer og er egnet for bruk i ulike applikasjoner, inkludert silisiumkarbidlag og epitaksiske halvledere.
Les merSend forespørsel