Silisiumkarbid waferbåt

Semicorex utvikler keramikk av halvlederkvalitet for OEM-halvfabrikasjonsverktøyene dine og komponenter for waferhåndtering. Vår Silicon Carbide Wafer Boat har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex sin silisiumkarbidskivebåt, med ekstremt høy renhet (opptil 99,99%), utmerket plasmamotstand og varmebestandighet, og begrenset partikkelforekomst, brukes i deler av halvlederbehandlingsutstyr, inkludert strukturelle komponenter og verktøy.
Hos Semicorex fokuserer vi på å tilby høykvalitets, kostnadseffektiv Silisiumkarbid Wafer Boat, vi prioriterer kundetilfredshet og gir kostnadseffektive løsninger. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner, levere produkter av høy kvalitet og eksepsjonell kundeservice.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår silisiumkarbidwaferbåt.

Parametre for silisiumkarbidwaferbåt

Tekniske egenskaper
Indeks	Enhet	Verdi
Materialnavn		Reaksjonssintret silisiumkarbid	Trykkløs sintret silisiumkarbid	Omkrystallisert silisiumkarbid
Komposisjon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Romvekt	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Fleksibilitetsstyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Trykkfasthet	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardhet	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Koeffisient for termisk ekspansjon	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Spesifikk varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maks temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Forskjellen mellom SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprosessen er annerledes. RBSiC skal infiltrere fritt Si inn i silisiumkarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturlig krymping ved 2100 grader.

2. SSiC har jevnere overflate, høyere tetthet og høyere styrke, for noen tetninger med strengere overflatekrav vil SSiC være bedre.

3. Ulik brukt tid under forskjellig PH og temperatur, SSiC er lengre enn RBSiC

Egenskaper av silisiumkarbid wafer-båt

Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet
Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate
Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring
Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.