Silicon Wafer Carrier

Semicorex leverer keramikk av halvlederkvalitet for OEM-halvlederverktøyene dine og waferhåndteringskomponenter med fokus på silisiumkarbidlag i halvlederindustrien. Vi har vært produsent og leverandør av Silicon Wafer Carrier i mange år. Vår Silicon Wafer Carrier har en god prisfordel og dekker det meste av det europeiske og amerikanske markedet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Halvlederavsetningsprosesser bruker en kombinasjon av flyktige forløpergasser, plasma og høy temperatur for å legge høykvalitets tynne filmer på wafere. Deponeringskamre og verktøy for håndtering av wafer trenger holdbare keramiske komponenter for å tåle disse utfordrende miljøene.
Semicorex Silicon Wafer Carrier er silisiumkarbid med høy renhet, som har høye korrosjons- og varmebestandige egenskaper samt utmerket varmeledningsevne.

Parametre for Silicon Wafer Carrier

Tekniske egenskaper
Indeks	Enhet	Verdi
Materialnavn		Reaksjonssintret silisiumkarbid	Trykkløs sintret silisiumkarbid	Omkrystallisert silisiumkarbid
Komposisjon		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøyestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Komprimerende styrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardhet	Knapp	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Koeffisient for termisk ekspansjon	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Spesifikk varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maks temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastisk modul	Gpa	360	410	240

Forskjellen mellom SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprosessen er annerledes. RBSiC skal infiltrere fritt Si inn i silisiumkarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturlig krymping ved 2100 grader.

2. SSiC har jevnere overflate, høyere tetthet og høyere styrke, for noen tetninger med strengere overflatekrav vil SSiC være bedre.

3. Ulik brukt tid under forskjellig PH og temperatur, SSiC er lengre enn RBSiC

Funksjoner av Silicon Wafer Carrier

SiC-belagt grafitt med høy renhet
Overlegen varmebestandighet og termisk jevnhet
Fin SiC-krystallbelagt for en jevn overflate
Høy holdbarhet mot kjemisk rengjøring
Materialet er utformet slik at det ikke oppstår sprekker og delaminering.

Tilgjengelige former for silisiumkarbidkeramikk:

● Keramisk stang / keramisk pinne / keramisk stempel

● Keramisk rør / keramisk bøssing / keramisk hylse

● Keramisk ring / keramisk skive / keramisk avstandsstykke

● Keramisk plate

● Keramisk plate / keramisk blokk

● Keramisk ball

● Keramisk stempel

● Keramisk munnstykke

● Keramisk smeltedigel

● Andre tilpassede keramiske deler