Semicorex vakuum chucks er den perfekte løsningen for håndtering av wafer i halvleder- og presisjonsindustrier. Med en rekke basismaterialalternativer, tilpasning av keramisk plate og presis flathetskontroll, sikrer vakuumkukkene våre pålitelig skive stabilitet og utmerkede prosessresultater. Disse chucks er designet for å oppfylle de strenge kravene til moderne halvlederproduksjon, og leverer enestående ytelse, og sikrer at prosessene dine forblir effektive og kostnadseffektive.*
Semicorex vakuum chucks er presisjons-konstruerte løsninger designet for å gi sikker, stabil og effektiv håndtering av skiver i halvlederproduksjonsprosesser. Disse vakuum chucks brukes hovedsakelig til å holde skiver under forskjellige prosesseringsstadier, noe som sikrer minimal skade på skiver, maksimal stabilitet og forbedret prosesseffektivitet. Våre vakuum chucks er tilgjengelige i en rekke basismaterialer og keramiske plater, og tilbyr skreddersydde løsninger for å imøtekomme de forskjellige behovene i halvlederindustrien og andre presisjonsindustrier.
Sentrale funksjoner og materialer
Semicorex tilbyr en rekke basismaterialer for vakuum chuck, og tillater tilpasning basert på spesifikke applikasjonskrav:
Basismaterialer:
Keramiske plater:
Alumina (Al₂o₃): Aluminiumoksydplater er kjent for sine høye elektriske isolasjonsegenskaper, slitestyrke og høy temperaturstabilitet. De er egnet for miljøer der minimal forurensning og høy ytelse er avgjørende.
Silisiumkarbid (SIC): SIC keramiske plater gir eksepsjonell hardhet, høy termisk ledningsevne og stabilitet ved forhøyede temperaturer, noe som gjør dem ideelle for avanserte håndteringsprosesser i halvdel i halvlederproduksjon.
Flatness Presisjon og materialvalg
Flatheten i Chucks overflate er en kritisk faktor for å sikre riktig skivehåndtering og optimale prosessresultater. Det materielle valget påvirker flathetspresisjonen, så vel som den totale vekten og termiske egenskapene til vakuum chuck.
Flathetspresisjon:
Aluminiumslegering 6061: Gir utmerket flathet med presisjon, noe som gjør det til et populært valg for mindre krevende håndteringsoppgaver med skive.
SUS430: Mens han tilbyr solid mekanisk stabilitet, har SUS430 en litt lavere flathetspresisjon enn aluminiumslegering.
Alumina keramikk (99% aluminiumoksyd): tilbyr den beste flathetspresisjonen på grunn av sin høye dimensjonale stabilitet under høye temperaturer og mekanisk stress.
Granitt: Kjent for sin stabilitet gir granitt presis flathet, spesielt i vibrasjonsfølsomme miljøer.
Silisiumkarbidkeramikk: gir enestående flathetspresisjon og er ideell for håndtering med høy presisjon i høye temperaturapplikasjoner.
Vekthensyn
Vekten av vakuum chuck er en annen viktig faktor, spesielt for applikasjoner der Chucks enkel håndtering og manipulering er en viktig vurdering.
Aluminiumslegering 6061: Det letteste materialet, noe som gjør det ideelt for applikasjoner som krever redusert vekt uten å ofre styrke.
Granitt: Tyngre enn aluminium, granites vekt gir ekstra stabilitet, spesielt i prosesser der vibrasjonsdemping er avgjørende.
Silisiumkarbidkeramikk (SIC): Selv om det er tyngre enn aluminium, gjør SICs eksepsjonelle styrke og termiske stabilitet det til det valgte materialet for krevende applikasjoner.
Alumina keramikk (99% aluminiumoksyd): Lignende vekt som granitt, aluminiumoksyd gir en balanse mellom stabilitet, vekt og høye temperaturmotstand.
Tilpasningsalternativer
Våre vakuum chucks kan skreddersys med varierende porestørrelser i de keramiske platene for å passe til spesifikke applikasjonsbehov. De keramiske platene kan også tilpasses med forskjellige farger, noe som gir enkel identifisering av forskjellige chucks som brukes i forskjellige prosesser.
Applikasjoner
Semicorex vakuum chucks er uunnværlige verktøy i et bredt spekter av halvlederproduksjonsprosesser, inkludert:
Semicorex vakuum chucks er designet for presisjon, holdbarhet og allsidighet. Vi tilbyr et utvalg av basismaterialer av høy kvalitet sammenkoblet med tilpassbare keramiske plater, slik at vi kan lage skreddersydde løsninger for forskjellige produksjonsprosesser. Enten du trenger lette, høye presisjonskiver eller materialer som tåler ekstreme temperaturer, leverer vakuum chucks påliteligheten og ytelsen du trenger. Ved å velge semikorex investerer du i et produkt med høy ytelse støttet av eksepsjonell ingeniørvitenskap og produksjonskompetanse.