Vertikal oblatbåt

Semicorex Vertical Wafer Boat er en spesialdesignet bærer for flere wafere som maksimerer plasseffektiviteten i prosesseringskamrene. Disse vertikale wafer-båtene er typisk rektangulære eller sylindriske i formen, og hver båt har presisjonsbearbeidede spor eller lommer som er adskilt for å holde individuelle wafere sikkert i oppreist stilling. Den vertikale wafer-båten er konstruert av silisiumkarbid (SiC) som gir utmerket motstand mot høye temperaturer, korrosive kjemikalier og mekanisk påkjenning, noe som gjør dem ideelle for å beskytte wafere mot potensiell skade.

Under halvlederproduksjon gjennomgår wafere en rekke intrikate prosesser, inkludert diffusjon, RTP og termiske felt. Den vertikale wafer-båten spiller en viktig rolle i å forenkle disse prosessene ved å tjene som en bærer for wafere, noe som muliggjør sømløs overføring mellom ulike utstyr og stadier. Dens vertikale orientering minimerer fotavtrykket i prosesseringskamrene, optimaliserer gjennomstrømningen og muliggjør effektiv håndtering av store partier med wafere.

Semicorex Vertical Wafer Boat er en hjørnestein i halvlederbehandling, og gir en robust og pålitelig løsning for sikker håndtering og transport av wafere gjennom ulike stadier av fabrikasjonen. Dens avanserte design, kombinert med de eksepsjonelle egenskapene til SiC, understreker dens sentrale rolle i produksjonen av banebrytende halvlederenheter.