Wafer båt

Semicorex Wafer Boat er designet for å tåle de tøffe forholdene i diffusjonsovnen, som høye temperaturer, korrosive miljøer og behovet for presis waferplassering under diffusjonsprosessen.

Wafer-båten er laget av silisiumkarbidkeramikk, valgt for sine eksepsjonelle egenskaper. Silisiumkarbid er kjent for sin høye varmeledningsevne, som sikrer jevn temperaturfordeling over skivene under diffusjon. Denne enhetligheten er avgjørende for å opprettholde integriteten til skivene og sikre konsistente dopingnivåer, som er avgjørende for funksjonaliteten til halvlederenhetene som produseres. I tillegg tillater Silisiumkarbids høye smeltepunkt og termiske stabilitet Wafer Boat å operere ved de høye temperaturene som kreves i diffusjonsprosesser, ofte over 1000°C, uten å forringe eller forvrenge.

En av de viktigste fordelene med silisiumkarbidkeramikk i Wafer Boat er dens utmerkede kjemiske motstand. Denne motstanden er spesielt viktig for å opprettholde renheten til halvlederskivene, da enhver forurensning kan føre til defekter i sluttproduktet, og kompromittere ytelsen til de integrerte kretsene.

Den strukturelle integriteten til Wafer Boat er en annen kritisk faktor i utformingen. Designet må sikre at skivene holdes sikkert på plass, med presis avstand for å tillate jevn eksponering for de reaktive gassene. Denne presisjonen er avgjørende for å oppnå jevn doping på tvers av alle wafere, som direkte påvirker de elektriske egenskapene til halvlederenhetene.

I tillegg til sine termiske og kjemiske egenskaper, tilbyr silisiumkarbidkeramikk utmerket dimensjonsstabilitet, avgjørende for høypresisjonskravene til halvlederproduksjon. Denne stabiliteten sikrer at skivene forblir perfekt på linje, noe som muliggjør nøyaktig og jevn spredning av dopingmidler over hele overflaten av hver wafer, noe som fører til produksjon av høykvalitets halvlederenheter.

Semicorex Wafer Boat laget av silisiumkarbidkeramikk er en viktig komponent i halvlederdiffusjonsprosessen. Dens eksepsjonelle varmeledningsevne, kjemiske motstand, mekaniske styrke og dimensjonsstabilitet gjør den ideell for de krevende forholdene ved halvlederproduksjon. Bruken øker ikke bare effektiviteten og påliteligheten til diffusjonsprosessen, men bidrar også til den totale kostnadseffektiviteten til halvlederproduksjon.