Skivebåter

Semikorex waferbåter produsert av silisiumkarbid med høy renhet (SIC) er essensielle komponenter i fremstilling av halvledere. Halvlederprosessene der de brukes vanligvis inkluderer høye temperaturer og etsende miljøer som diffusjon, oksidasjon og LPCVD-prosesser. Påføringen av SIC -waferbåter er konstruert for å maksimere termisk stabilitet og kjemisk motstand, noe som muliggjør optimal støtte, justering og transport av silisiumskiver under prosessering for optimale utbytter og enhetsytelse.

Silisiumkarbid er godt dokumentert som en utmerket termisk ledende keramikk, og viser høy mekanisk styrke og overlegen termisk sjokkmotstand, oksidasjonsmotstand og aggressiv kjemisk motstand med kjemikalier som HF og HCl. Egenskapene til SIC gjør det spesielt attraktivt som materiale for skivebåter for neste generasjons halvlederproduksjonsprosesser og i miljøer med høy temperatur. SIC wafer -båter kan opprettholde strukturell integritet og dimensjonell stabilitet ved prosesstemperaturer på> 1500 ° C, og minimere risikoen for skjevhet eller forurensning av skiver i kritiske termiske behandlinger.

Hver sicskivebåter produsert av SIC med høy renhet ved bruk av avanserte keramiske forming og sintringsprosesser, og kan skreddersys for et omfattende utvalg av skivediametre (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) samt stablingskonfigurasjoner enten vertikale eller horisontale. Våre Sic wafer -båter har glatte overflater og utmerket flathet som minimerer partikkelgenerering og er ideelle for automatiserte håndteringssystemer for skive.

Forurensningskontroll og utbytte er to av de mest kritiske problemene i moderne fabs. Sic wafer -bæreres renslighet og pålitelighet påvirker produktkvaliteten og konsistensprosessytelsen.  Sic wafer -båter har mye bedre levetid for bruk, har færre vedlikeholdskrav og lavere TCO enn kvarts eller aluminiumoksydbaserte alternativer. Bedre lang levetid betyr også færre problemer med mikropartikler, derfor igjen, og påvirker rensligheten av skivets overflate og påvirker renslighet av rent rom.

Semicorex er fokusert på å designe og produsere sic wafer -båter som bruker høyest mulige rå råvarer kombinert med sintring av lav forurensning.  Vi gjør alt for å opprettholde lave urenhetsnivåer, for å opprettholde porøsitet til lav verdi og ensartet mikrostruktur slik at teamets arbeid regelmessig kan glede seg over konsistente termiske egenskaper, presis skiveavstand og uovertruffen kjemisk nedbrytningsresistens.

Semicorex SiCskivebåterer et nødvendig element i høy temperaturbehandling av halvledere. Silisium-karbidskivebåter med høy renhet har enestående materialegenskaper, konstruert dyktighet og mikroforurensningsfritt temperament, gjør dem til det høye nivået for høye ytelsesfabrikasjoner. Semicorex gir påliteligheten og innovative høye ytelsen for å støtte dine mest oppdragskritiske halvlederprosesser.