Produkter

Semicorex silisiumkarbid-chucker er spesialdesignet for fotolitografiutstyr og har flere fordeler som høy presisjon, ultralett vekt, høy stivhet, lav termisk ekspansjonskoeffisient og utmerket slitestyrke.

Semicorex Wafer Edge Grinding Chuck er en keramisk disk laget av hvit aluminiumoksyd med høy renhet, designet for wafer Edge-sliping i halvlederproduksjon. Å velge semikorex sikrer overlegen materialkvalitet, presisjonsteknikk og pålitelig ytelse som støtter de mest krevende skivebehandlingsmiljøene.*

Semikorex porøse aluminiumoksyd chucks er mikroporøs svart aluminiumoksyd vakuumarmatur med 35–40% porøsitet, designet for å gi ensartet sug og sikker skivehåndtering i halvlederproduksjon. Å velge semikorex betyr pålitelig keramisk prosjektering, overlegen materialkvalitet og jevn ytelse som beskytter avkastning og prosessstabilitet.*

Semicorex AL2O3 Vacuum Chucks er mikroporøs keramisk adsorpsjonsarmatur laget av svart aluminiumoksyd med en porøsitet på 35–40%, spesielt designet for wafer -håndtering i halvlederapplikasjoner. Å velge semikorex betyr å dra nytte av avansert keramisk teknologi, presisjonsteknikk og pålitelig produktkvalitet som sikrer stabil ytelse i krevende rentromsmiljøer.*

Semicorex silisiumkarbidvakuum chuck er en høyytelseshåndteringsløsning laget av porøst silisiumkarbid. Det er spesielt konstruert for vakuumadsorpsjon av halvlederskiver under kritiske prosesser som montering (voksing), tynning, avvaksing, rengjøring, terning og rask termisk annealing (RTA). Velg Semicorex for uovertruffen materiell renhet, dimensjonal presisjon og pålitelig ytelse i krevende halvledermiljøer.*

Semikorex porøs sic chuck er en keramisk vakuum chuck med høy ytelse designet for sikker og ensartet wafer-adsorpsjon i halvlederbehandling. Den konstruerte mikro-porøse strukturen sikrer utmerket vakuumfordeling, noe som gjør den ideell for presisjonsapplikasjoner.*